효율적인 리소스 활용
사전 프로그래밍된 레시피를 활용하여 무인, 일관된 플라즈마 FIB 지연을 위한 시스템을 통해 연구 역량을 강화하고 디바이스 무결성을 보존하세요.
독점적인 화학 통합
Xe 플라즈마 FIB의 시너지 효과는 다음과 같습니다. 최신 반도체 노드에서 최적의 지연을 위해 제작된 TESCAN의 가스 화학.
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나노플랫 및 C-미로 화학을 사용하여 7nm FinFET CPU 디바이스의 여러 하단 레이어를 통해 자동화된 지연 처리.
사용자 지정 및
일관성
사전 정의된 템플릿으로 고유한 지연 프로세스를 제작하고 적용하여 샘플 전체에 걸쳐 균일한 적용과 반복성을 보장합니다.
심층
모니터링
정교한 엔드포인트 감지 기능으로 지연 처리 진행 상황을 추적하고, TESCAN 지연 처리 모듈의 피크 인식을 활용하여 정밀하게 정지합니다.
A) 지연 처리 중 FIB 종단점 신호의 실시간 피크 감지.
B) M0으로 지연된 14nm 디바이스. 500eV에서 이미징 및 프로빙.
무중단
보증
중요한 계층에 도달하기 전에 지연을 종료하여 디바이스 기능을 보호하도록 설계된 자동화된 프로세스를 활용하세요.
EssenceTM 자동 지연 처리를 위한 고급 애플리케이션
향상된 이미징
뚜렷한 전압 대비와 신속한 고장 식별을 위해 1kV 미만의 SEM 이미지를 활용하세요.
화학 옵션
나노플랫, 체이스, C-메이즈 등 다양한 시료 유형에 맞는 다양한 지연 화학 물질 중에서 선택하세요.
에센스™ 모듈
에센스 딜레이링 모듈을 활용하여 3D NAND 스택 전체에 균일한 에칭을 수행하여 철저한 분석을 보장합니다.